真空爐系統(tǒng)多采用開式循環(huán)系統(tǒng)。系統(tǒng)由循環(huán)水池，冷卻水循環(huán)泵，應(yīng)急冷卻水箱，板式換熱器等組成。系統(tǒng)中比較關(guān)鍵的是需要設(shè)置一座有效容積較大的循環(huán)水池，此水池在系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)僅作為水泵吸水池使用，在停電等緊急情況下，冷水機(jī)組或冷卻塔停止運(yùn)行，無法為真空爐系統(tǒng)提供冷媒的時(shí)候，冷卻水循環(huán)泵配備應(yīng)急電繼續(xù)工作，將管網(wǎng)及水池內(nèi)水繼續(xù)打循環(huán)，因水的比熱大于硅的比熱，利用循環(huán)水池內(nèi)的水把鑄錠爐中高溫硅的熱量吸收掉，從而把鑄錠爐的溫度降下來，保證爐體不至于在停電的時(shí)候產(chǎn)生損壞甚至爆炸危險(xiǎn)。循環(huán)水池的儲(chǔ)水容量的確定即根據(jù)將系統(tǒng)中所有爐體內(nèi)的硅料降溫至安全溫度的時(shí)候，水池中的水的溫度不至于升高到冷卻水系統(tǒng)管網(wǎng)及設(shè)備不耐受的程度。冷卻水系統(tǒng)必須要為真空爐循環(huán)水泵配應(yīng)急電源，此應(yīng)急電源一般采用柴油發(fā)電機(jī)，為了保證在柴油發(fā)電機(jī)啟動(dòng)之前，爐體內(nèi)仍然有冷卻水流過，一般會(huì)在真空爐系統(tǒng)中設(shè)置一座高位應(yīng)急冷卻水箱，此水箱中的水在系統(tǒng)停電時(shí)，依靠重力流經(jīng)爐體對(duì)爐體進(jìn)行冷卻。